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ATI-1000S型半導(dǎo)體體積電阻率測試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評估和測試，該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進(jìn)行設(shè)計開發(fā)，可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。
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